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Brooks Instrument流量控制器技術(shù)資料
點(diǎn)擊次數(shù):640 更新時(shí)間:2022-11-02

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Brooks Instrument流量控制器技術(shù)資料


布魯克斯5850EMH系列高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路


現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此,布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性(無泄漏)的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度,該流路專為防止外部污染(如濕氣和氧氣)腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。


應(yīng)用

光纖制造 - MCVD

硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

CVD(蒸汽形式的前體輸送)

剝落(水蒸氣)

腐蝕(水蒸氣鈍化)


參數(shù)

流體類型    氣體 , 水汽

流量范圍    滿量程容量3 sccm - 10 slm

精度        SP ±1%

最大壓力    145 psig

溫度        150℃


以上內(nèi)容由上海維特銳提供;詳情請(qǐng)點(diǎn)擊:Brooks Instrument流量控制器技術(shù)資料

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